石英深加工在制造生产的过程中,为了防止熔融硅与石英陶瓷坩埚反应并容易脱模分离,需要在坩埚内表面进行涂层。熔融石英坩埚是生产太阳能多晶硅铸锭的必要容器,为脱模方便,需在其内表面喷涂一层氮化硅。
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